高效光源选择：LDLS技术的核心问题与答案集锦

  为了更有效地协助我们的客户，我们特别整理了一份高频LDLS问题合集，旨在更全面、细致地解答大家所关心的疑问。希望能够通过这份精心准备的内容，能够更好地满足大家的需求，提升问题解决的效率。

  LDLS针对高亮度方面做了优化，LDLS光源的功率从一个百微米量级左右的等离子体发出，所以LDLS光源可通过较小的辐射功率发出高亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm²/sr)的光。几种LDLS光源辐射功率和亮度选择如下：

  EQ-99X-FC的输出光功率受光纤纤芯直径、光纤纤芯材料、以及光纤包壳做工质量的影响，建议采用我司的耐热处理的标准光纤，其输出光功率具体如下：

  EQ-99X-FC的输出光功率受光纤纤芯直径、光纤纤芯材料、以及光纤包壳做工质量的影响，长度1m的标准光纤输出光谱辐射强度如下图所示。

  LDLS光源等离子体空间位置由激发激光聚焦点精准控制，LDLS产品等离子置在x，y，z三个方向上的分布偏差均小于0.5 μm。

  EQ-99系列和EQ-77系列光源在标准建议工作状态下寿命均在10000小时之后。另外，光源工作1000小时以后，灯泡的输出功率只会衰减1%~2%。

  LDLS光源产生大量深紫外光，200 nm以下的深紫外光会使氧气转化为臭氧，同时臭氧会吸收240 nm~270 nm的深紫外光。因此，如需使用170 nm~270 nm的深紫外光，光源在使用时需要充入纯净氮气。同时，充入氮气也可以有效的预防灯泡被空气中有机蒸汽污染。为了能够更好的保证光学器件的洁净，氮气需要满足6级洁净度。

  目前LDLS系列的部分型号针支持提供外部机械结构与光学模型参数，如有需要请联系滨松相关工程师。在设计初期请参考各光源输出数值孔径参数完成光路设计：EQ-9的数值孔径为0.5。EQ-99X的数值孔径为0.47，EQ-77的数值孔径为0.5，EQ-400的数值孔径为0.5。EQ-850的数值孔径为0.58。EQ-99X-FC为光纤耦合输出，其中SMA光纤的数值孔径为0.22。

  可以配置SMA光纤输出接口。但是目前，标准的SMA光纤接口稳定性要比FC接口差很多，需要寻找高性能SMA光纤接口，所以使用SMA光纤输出接口的EQ-99X比EQ-99XFC成本要高很多。

  不可以。LDLS系统不能支持真空的使用环境，放进真空环境可能会对光学结构造成损害。

  建议在做测量之前进行大约30分钟的预热，以确保LDLS光源已达到热平衡。具体应用测量的实际预热时间可能更长或更短，这取决于要做测量的精度。

  EQ-99 Manager能够直接进行光源开关的程序控制，光源运行时间统计，外部快门控制。其中，EQ-99 Manager自带快门，快门能够最终靠机械转接件与EQ-99X连接，快门周期、曝光时间均能够最终靠程序设置。